Piv nrog cov tshuaj muaj ob-ua kua txau, cov tshuaj tsuag ultrasonic muaj qhov zoo ntawm cov txheej kev sib txawv, kev siv cov khoom siv raw siab, kev ua hauj lwm ntau txheej txheej tswj kev tswj qhov tseeb, thinner txheej thickness, tsis tshua muaj txaws, tsis muaj clogging ntawm nozzles, thiab tus nqi qis txij nkawm. Piv nrog cov tshuab nqus tsev, CVD thiab lwm cov txheej txheej, ultrasonic txau yog txheej txheem kev lag luam nyias txheej txheej, tshwj xeeb tshaj yog rau thaj chaw loj dua kev npaj zaj duab xis. Tus nqi ntawm ultrasonic cov khoom siv txau yog ntau dua qis tshaj qhov ntawd ntawm cov khoom siv lub tshuab nqus tsev txheej. Cia peb qhia luv luv cov ntsiab kev zoo ntawm kev txau ultrasonic.
High coating uniformity
Kev sib xyaw ua kua ntawm cov kua cais tawm tom qab tau atomized los ntawm ultrasonic nozzle yog qhov muaj peev xwm ntau dua li ntawm ob lub kua hluav taws xob, tseem hu ua rab phom cua, yog li cov pa tsis sib thooj ntawm cov txheej tom qab ultrasonic nozzle txau kuj tseem zoo dua. Feem ntau, txoj kev tsis sib xws ntawm ultrasonic tshuaj tsuag txheej tuaj yeem ncav ntau dua 95%.
2. Kev siv cov khoom siv raw siab dua thiab txaws qis dua
Vim tias kev txau ultrasonic yog kua atomization los ntawm ultrasonic kev co, txheej tsis atomized thaum lub sijhawm atomization txheej txheem, uas yog, cov txheej txheem atomization tsis xav tau siab, thiab tsuas yog tus nqi qis heev cov pa roj tau thov tom qab lub atomization los thauj cov kua yuam kev. Nws zoo heev txo cov kua thaws thiab txaws vim los ntawm kev kub siab huab cua txau los ntawm ob lub cev, thiaj li txhim kho kev siv nyiaj ntawm txheej txheej. Kev siv cov khoom siv raw tus nqi ntawm cov tshuaj tsuag ultrasonic yog ntau dua 4 zaug ntawm qhov ntsuas cov pa thiab cov pa hluav taws, thiab kev siv tus nqi tuaj yeem ncav cuag ntau dua 90%.
3. Muaj ntau txheej thickness tswj cov raug
Lub hauv paus tseem ceeb uas cuam tshuam rau txheej thickness tuab raug yog cov tshuaj tsuag ntws tus nqi ntawm lub txheej, uas yog, qhov nyiaj ntawm cov khoom nqa ntawm daim nyias nyias rau ib lub sijhawm. Lub taub hau ultrasonic txau tsis muaj lub siab ua kua, yog li nws tuaj yeem tswj tau cov kua ntws ntawm cov atomized tsuag txheej los ntawm qhov siab-ua kom cov metering twj tso kua mis, yog li ua tiav qhov siab-precision tshuaj tsuag ntws tswj. Xws li lub tshuab pa roj ntshav siab, nws cov ntws tswj qhov tseeb tuaj yeem mus txog rau theem ntawm picoliters ib ob, thiab micro-channel tsim ntawm ultrasonic nozzle tseem tuaj yeem ua tiav qhov kev tswj tag nrho qhov tseeb ntawm nanoliters ib ob.
4. Nyias txheej tuab tuaj yeem ncav cuag kaum tawm ntawm nanometers
Vim tias qhov tshuaj txau ntim ntawm lub taub hau ultrasonic txau tuaj yeem ua tiav qhov khiav qis tsawg kawg nkaus (0.001ml / min), nws tuaj yeem ua tiav qhov peev txheej me me tso rau ntawm lub substrate, yog li ua tiav zaj duab xis qhuav heev. Rau qee qhov nanomaterials, lub zog qhuav zaj duab xis muaj peev xwm yuav tsawg li kaum tawm ntawm nanometers. Nws tuaj yeem siv los npaj cov iav nyias zaj duab xis xws li pob tshab conductive zaj duab xis, zaj duab xis los tiv thaiv kev cuam tshuam, zaj duab xis-tiv thaiv kub, thiab zaj duab xis hydrophobic.
5. Tsis muaj qhov txhaws ntawm lub taub hau thiab tsis siv tus nqi kho
Vim tias ultrasonic nozzle yog lub kua atomized los ntawm ultrasonic oscillation, thiab cov atomized hais yog txiav txim siab los ntawm ultrasonic oscillation zaus, nws txawv ntawm ob-kua nozzle. Lub taub hau tsis muaj qhov loj me tsis tas yuav yog qhov me me kom ua tiav cov khoom atomized zoo, yog li nws thiaj li txo qhov tsis muaj qhov tsis zoo.
